合金ICP光譜儀主要由進樣系統、射頻（RF）發生器、分光系統、檢測器和軟件等五部分組成。它利用氬等離子體產生的高溫使試樣*分解形成激發態的原子和離子，由于激發態的原子和離子不穩定，外層電子會從激發態向低的能級躍遷，因此發射出特征的譜線。通過光柵等分光后，利用檢測器檢測特定波長的強度，從而測定試樣中待測元素的含量。
一、合金ICP光譜儀的開機
1.確認有足夠的氬氣用于連續工作（儲量≥1瓶）。
2.確認廢液收集桶有足夠的空間用于容納廢液。
3.打開氬氣并調節出口壓力在0.5-0.7Mpa之間。
4.打開穩壓器電源，1min后打開主機電源。
5.打開電腦、顯示器和打印機，啟動軟件。
6.點火：
①再次確認氬氣儲量和壓力，保證儀器已經驅氣30min以上。
②確認光室溫度穩定在90±0.5℉。
③檢查并確認進樣系統（炬管、霧化室、霧化器、泵管等）是否正確安裝。
④上好蠕動泵夾子，進樣管放入水中。
⑤打開抽風機電源，確認風門已經全部打開，并有足夠的抽風力。
⑥打開軟件的對話框進行點火操作。
⑦點火后穩定15-30min。
二、合金ICP光譜儀的關機
1.分析完畢后，分別用去稀硝酸和離子水沖洗進樣系統5至10min。點擊“SHUTDOWN”熄火。
2.松開蠕動泵夾，關閉抽風機電源。
3.確保CID溫度升到15℃以上后再繼續驅氣20min，關閉氬氣。
4.退出軟件，關閉電腦、顯示器、打印機。
5.關閉主機電源、穩壓器。
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